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大能量高功率准分子激光的应用及关键技术

赵家敏 , 游利兵 , 余吟山 , 方晓东

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2013.06.009

实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用.分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术.

关键词: 激光技术 , 准分子激光 , 大能量 , 高功率 , 磁脉冲压缩 , 激光退火

用于308 nm 准分子激光治疗仪的液芯光纤传输特性研究

高健 , 方晓东 , 梁勖 , 马跃 , 吴本科

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.01.014

实验研究了308 nm准分子激光皮肤治疗仪激光传输系统中光纤的传输特性.比较了紫外扩展型液芯光纤、集束石英光纤、普通液芯光纤三种不同类型的光纤在不同的激光输出功率、工作时间等条件下的传输效率,紫外扩展型液芯光纤的传输效率达到70%;测量和分析了在激光传输过程中液芯光纤对激光光强分布的改善和匀光作用,输出光束光场均匀性小于士4.5%.实验表明,基于液芯光纤的激光传输系统对于308 nm紫外激光具有较好的激光传输效率、匀光效果和工作稳定性.

关键词: 激光技术 , 准分子激光器 , 传输率 , 液芯光纤 , 光学传输系统 , 匀光

准分子激光器温度控制系统设计

胡明庆 , 韩晓泉 , 周翊 , 冯泽斌 , 周维虎 , 白路军

连铸 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2015.04.008

设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等.系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀作为控温执行器件,并且设计了软硬件和优化的控制算法.实验结果表明:在三种不同PID控制方式下,系统控制精度皆能达到±0.2℃;在改进的智能PID控制下,系统超调变小、调节时间减少;在100 Hz和500 Hz不同重频条件下,系统采用智能PID控制时,运行稳定.因此,本系统可为激光器的运行提供良好的温度控制环境.

关键词: 激光技术 , 温度控制 , 智能PID , 准分子激光器 , 算法

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